EN 62047-18:2013
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб.

Стандартный №

EN 62047-18:2013

Дата публикации

2013

Разместил

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Последняя версия

EN 62047-18:2013

сфера применения

IEC 62047-18:2013 определяет метод испытания на изгиб тонкопленочных материалов длиной и шириной менее 1 мм и толщиной в диапазоне от 0,1 микрометра до 10 микрометров. Этот международный стандарт определяет испытания на изгиб и форму образцов для гладких образцов микроразмерного консольного типа, что обеспечивает гарантию точности, соответствующей особым характеристикам.

EN 62047-18:2013 История

• 2013 EN 62047-18:2013 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб.