ISO 13424:2013
Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Отчет о результатах тонкопленочного анализа.

Стандартный №

ISO 13424:2013

Дата публикации

2013

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO 13424:2013

сфера применения

Настоящий международный стандарт определяет минимальный объем информации, требуемый в отчетах об анализах тонких пленок на подложке методом XPS. Эти анализы включают измерение химического состава и толщины однородных тонких пленок, а также измерение химического состава в зависимости от глубины неоднородных тонких пленок с помощью XPS с угловым разрешением, профилирования XPS по глубине распыления, анализа формы пиков и анализа переменных фотонов. энергетическая ЭПС.

ISO 13424:2013 Ссылочный документ

• ISO 18115-1:2010 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 1. Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.

ISO 13424:2013 История

• 2013 ISO 13424:2013 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Отчет о результатах тонкопленочного анализа.