T/CNIA 0060-2020
Определение содержания фосфина в водороде для поликремния методом газовой хроматографии (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/CNIA 0060-2020

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2020

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/CNIA 0060-2020

сфера применения

Настоящий стандарт устанавливает метод газохроматографического определения содержания фосфина в водороде для поликремния. Этот стандарт применим для определения содержания фосфина в газообразном водороде для поликремния, а диапазон измерений составляет 0,02×10-9～1×10-5 (об./об.).

T/CNIA 0060-2020 История

• 2020 T/CNIA 0060-2020 Определение содержания фосфина в водороде для поликремния методом газовой хроматографии