В этом документе указаны классификация, требования, методы испытаний, правила проверки и маркировки, упаковка, транспортировка и хранение нетканых/полиуретановых композитных полировальных подушечек (далее - полировальные подушечки). Этот документ подходит для полировальных подушечек, используемых для полировки кремниевых пластин, подложек ЖК-дисплеев и стеклянных панелей, сапфировых подложек и других материалов. Его также можно использовать для проводящего стекла ITO, стеклянных подложек, фотомасок и масок ЖК-дисплея, бериллия, плавленого кварца, полировки. фосфида индия, ниобата лития, танталата лития, нержавеющей стали, вольфрама и пеностекла.
T/SHXCL 0004-2021 История
2021T/SHXCL 0004-2021 Полировальный диск из нетканого материала/полиуретана