T/CATSI 09010-2021
Технические условия на проверку чистоты оптических вакуумных камер (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/CATSI 09010-2021

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2021

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/CATSI 09010-2021

сфера применения

Глава 3. Термины, определения и сокращения. Чтобы облегчить понимание и внедрение стандарта, в этой главе приведены термины и определения парциального давления чистоты оптической вакуумной полости, а также некоторые сокращения. Глава 4. Загрязнение вакуумной камеры. В этой главе в основном описываются типы загрязнения оптической вакуумной камеры, включая жир, капли жидкости, поверхностные оксиды и т. д. Глава 5 Стандарты чистоты В этой главе приводятся требования к трем стандартам чистоты: чистоте, сверхчистоте и опасной. Глава 6. Подготовка к тестированию. В этой главе в основном излагаются соответствующие требования к основным звеньям, таким как части тестирования, места тестирования, методы тестирования, а также инструменты и оборудование для тестирования. Глава 7. Тестирование и результаты. В этой главе в основном описаны принципы тестирования, этапы тестирования, результаты тестирования и другие требования. Приложение A В приложении представлена основная информация об оборудовании для проверки чистоты, параметрах оборудования и условиях испытаний, примеры результатов масс-спектрометрии RGA с полостью A, примеры результатов масс-спектрометрии RGA с полостью B и примеры результатов фарадеевского умножения с полостью B.

T/CATSI 09010-2021 История

• 2021 T/CATSI 09010-2021 Технические условия на проверку чистоты оптических вакуумных камер