T/CNIA 0017-2019
ОПРЕДЕЛЕНИЕ СОДЕРЖАНИЯ ПРИМЕСИ В ХЛОРСИЛАНАХ ДЛЯ ПОЛИКРЕМНИЯ МЕТОДОМ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИИ С ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМОЙ (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/CNIA 0017-2019

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2019

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/CNIA 0017-2019

сфера применения

Настоящий стандарт устанавливает метод определения содержания примесей (бора, фосфора, железа, кальция, алюминия, хрома, никеля, меди, цинка, титана, калия, натрия) в хлорсилане для поликремния методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой. Настоящий стандарт распространяется на определение содержания примесей (бор, фосфор, железо, кальций, алюминий, хром, никель, медь, цинк, титан, калий, натрий) в хлорсилане для поликремния, диапазон определения составляет 0 мкг. /л~1000 мкг/л.

T/CNIA 0017-2019 История

• 2019 T/CNIA 0017-2019 ОПРЕДЕЛЕНИЕ СОДЕРЖАНИЯ ПРИМЕСИ В ХЛОРСИЛАНАХ ДЛЯ ПОЛИКРЕМНИЯ МЕТОДОМ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИИ С ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМОЙ