UNE-EN ISO 14644-9:2022 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Оценка чистоты поверхности по концентрации частиц (ISO 14644-9:2022)
2022UNE-EN ISO 14644-9:2022 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Оценка чистоты поверхности по концентрации частиц (ISO 14644-9:2022)
2014UNE-EN ISO 14644-9:2014 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц (ISO 14644-9:2012)