Настоящий документ устанавливает технические требования, методы испытаний, правила контроля, требования к маркировке, упаковке, транспортированию и хранению водородно-азотной смеси 4 %. Этот документ применим к газовой смеси водорода и азота с содержанием 4% (далее называемой смесью газов с 4% водородом и азотом), используемой в электронной промышленности.Смеси газов водорода и азота с другими пропорциями компонентов могут быть использованы в качестве эталона.
T/CHBAS 26-2022 История
2022T/CHBAS 26-2022 Газовая смесь 4% водород/азот для электронной промышленности