DB53/T 500-2013
Определение содержания трихлорсиланового компонента в поликремнии методом газовой хроматографии (Англоязычная версия)

Стандартный №

DB53/T 500-2013

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2013

Разместил

Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China

Последняя версия

DB53/T 500-2013

сфера применения

Настоящий стандарт устанавливает метод определения содержания компонентов SiHCl3, SiH2Cl2, SiCl4 и HCl в трихлорсилане для поликристаллического кремния методом газовой хроматографии. Настоящий стандарт применим для определения содержания SiHCl3, SiH2Cl2, SiCl4 и HCl в трихлорсилане, используемом для производства поликристаллического кремния, с использованием модифицированного метода Сименса. Диапазон измерения: SiH2Cl2＞0,01%, SiCl4＞0,01%, HCl＞0,01%.

DB53/T 500-2013 История

• 2013 DB53/T 500-2013 Определение содержания трихлорсиланового компонента в поликремнии методом газовой хроматографии