T/IAWBS 005-2018
6-дюймовые полированные пластины монокристаллического карбида кремния (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/IAWBS 005-2018

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2018

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/IAWBS 005-2018

сфера применения

Настоящий стандарт распространяется на 6-дюймовые монокристаллические притирочные пластины из карбида кремния 4H и 6H, полученные после односторонней или двухсторонней полировки. Он определяет необходимую соответствующую терминологию, классификацию продукции, технические требования, методы испытаний, правила проверки, маркировку, упаковку, транспортировку, хранение и т. д. 6-дюймовых монокристаллических полированных пластин карбида кремния 4H и 6H. Настоящий стандарт предусматривает, что ориентация кристаллов полировального листа из карбида кремния представляет собой отклонение ориентации кристаллов от ортогональной ориентации поверхности полировального листа из карбида кремния: a) положительная ориентация кристаллов: 0°±0,5°; б) Отклонение кристаллографического направления: Отклонение кристаллографического направления полированных пластин карбида кремния составляет 4°±0,5° или другие углы от нормали поверхности пластины к направлению [1120] вдоль основной позиционирующей кромки. В то же время этот стандарт также оговаривает дефекты поверхности, плотность микротрубочек, качество кристаллов, удельное сопротивление, политип, плотность дислокаций и т. д.

T/IAWBS 005-2018 История

• 2018 T/IAWBS 005-2018 6-дюймовые полированные пластины монокристаллического карбида кремния