GB/T 36053-2018 Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность. (Англоязычная версия)
2018GB/T 36053-2018 Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.