GB/T 5226.33-2017 Электрическая безопасность машин. Электрооборудование машин. Часть 33. Требования к оборудованию для производства полупроводников. (Англоязычная версия)
2017GB/T 5226.33-2017 Электрическая безопасность машин. Электрооборудование машин. Часть 33. Требования к оборудованию для производства полупроводников.