BS ISO 11952:2019 Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Определение геометрических величин с помощью СЗМ: Калибровка измерительных систем
Что такое ISO 11952 – Сканирующая зондовая микроскопия? ISO 11952 применим к зондовой микроскопии. ISO 11952 определяет методы определения характеристик и калибровки осей сканирования сканирующих зондовых микроскопов (СЗМ) для измерения геометрических величин на самом высоком уровне. Это применимо к тем, кто осуществляет дальнейшую калибровку. Примечание. Он не предназначен для общепромышленного использования, где может потребоваться более низкий уровень калибровки. Кто
BS ISO 11952:2019 История
2019BS ISO 11952:2019 Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Определение геометрических величин с помощью СЗМ: Калибровка измерительных систем