T/CNIA 0016-2019 Определение содержания хлороводорода, азота, кислорода и общего углерода в оборотном водороде для поликремния методом газовой хроматографии (Англоязычная версия)
Настоящий стандарт определяет метод газохроматографического определения содержания хлористого водорода, азота, кислорода и общего углерода в рециркулируемом водороде для поликремния. Этот стандарт применим для определения содержания хлористого водорода, азота, кислорода и общего углерода в переработанном водороде, используемом в поликремнии, а диапазон определения составляет (0-10000)×10-6.
T/CNIA 0016-2019 История
2019T/CNIA 0016-2019 Определение содержания хлороводорода, азота, кислорода и общего углерода в оборотном водороде для поликремния методом газовой хроматографии