T/CCGA 30001-2019
Ультрачистый аммиак (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- T/CCGA 30001-2019
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2019
- Разместил
- Group Standards of the People's Republic of China
- Последняя версия
- T/CCGA 30001-2019
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортировку, хранение и т. д. продуктов сверхчистого аммиака. Настоящий стандарт распространяется на продукты сверхчистого аммиака, полученные из промышленного жидкого аммиака посредством предварительной адсорбционной очистки, дистилляционной очистки и конечной очистки. Этот продукт является основным сырьем для микроэлектронных маскирующих пленок из нитрида кремния и важным сырьем для полупроводниковой, оптоэлектронной и светодиодной (LED) промышленности.
T/CCGA 30001-2019 История
- 2019 T/CCGA 30001-2019 Ультрачистый аммиак
