UNE-EN 62047-21:2014
Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов (одобрен AENOR в ноябре 2014 г.)

Стандартный №

UNE-EN 62047-21:2014

Дата публикации

2014

Разместил

ES-UNE

Последняя версия

UNE-EN 62047-21:2014

UNE-EN 62047-21:2014 История

• 2014 UNE-EN 62047-21:2014 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов (одобрен AENOR в ноябре 2014 г.)