DIN EN 62047-13:2012-10 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 13. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления для МЭМС-структур (IEC 62047-13:2012); Немецкая версия EN 62047-13:2012.
2012DIN EN 62047-13:2012-10 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 13. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления для МЭМС-структур (IEC 62047-13:2012); Немецкая версия EN 62047-13:2012.
2012DIN EN 62047-13:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 13. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления для МЭМС-структур (IEC 62047-13:2012); Немецкая версия EN 62047-13:2012.