T/CASME 798-2023
Специализированные инструменты для обработки полупроводниковых материалов (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/CASME 798-2023

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2023

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/CASME 798-2023

сфера применения

В этом документе указаны термины и определения, классификация, основные требования, технологический процесс, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировка, упаковка, транспортировка и хранение, а также содержание обязательств по качеству специальных инструментов обработки полупроводниковых материалов.

T/CASME 798-2023 История

• 2023 T/CASME 798-2023 Специализированные инструменты для обработки полупроводниковых материалов