BS EN ISO 25178-607:2019 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь - Номинальные характеристики инструментов для бесконтактной (конфокальной микроскопии)
1 Область применения В этом документе описаны влияющие величины и характеристики приборов систем конфокальной микроскопии для площадных измерений топографии поверхности.Поскольку профили поверхности можно извлечь из изображений топографии поверхности, методы, описанные в этом документе, также можно применять для измерений профилирования.
BS EN ISO 25178-607:2019 История
2019BS EN ISO 25178-607:2019 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь - Номинальные характеристики инструментов для бесконтактной (конфокальной микроскопии)