В этом документе указаны технические требования, методы испытаний, правила контроля, знаки, упаковка, транспортировка, хранение, сопроводительная документация и форма заказа гексахлордисилана, побочного продукта поликристаллического кремния, модифицированного по технологии Сименс. Этот документ применим к гексахлордисилану, побочному продукту, получаемому в процессе производства модифицированного поликремния Сименс.
T/CNIA 0114-2021 История
2021T/CNIA 0114-2021 Гексахлордисилан, побочный продукт модифицированного поликремния процесса Siemens.