UNE-EN ISO 25178-603:2013
Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 603: Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (интерферометрическая микроскопия с фазовым сдвигом) (ISO 25178-603:2013) (Одобрено AENOR в январе 2015 г.)