T/CNIA 0118-2021 Определение микроэлементов-примесей в плавиковой кислоте высокой чистоты для электронной промышленности методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой (Англоязычная версия)
Настоящий документ регламентирует определение примесных элементов (алюминия, сурьмы, мышьяка, бария, бора, кадмия, кальция, хрома, меди, железа, свинца, лития, магния, марганца, никеля) в плавиковой кислоте высокой чистоты, применяемой в электронной промышленности. масс-спектрометрией с индуктивно-связанной плазмой. Метод определения содержания калия, натрия, олова, титана, ванадия, цинка. Этот документ подходит для определения содержания микроэлементов в плавиковой кислоте высокой чистоты, используемой в электронной промышленности. Диапазон измерения составляет 0,001 мкг/кг ~ 10 000 мкг/кг. Метод стандартной рабочей кривой применим к содержанию каждого микропримесного элемента > 0,100 мкг/кг, стандартный метод добавления применим к содержанию каждого микропримесного элемента ≤ 0,100 мкг/кг.
T/CNIA 0118-2021 История
2021T/CNIA 0118-2021 Определение микроэлементов-примесей в плавиковой кислоте высокой чистоты для электронной промышленности методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой