UNE-EN ISO 25178-604:2013
Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 604: Номинальные характеристики бесконтактных приборов (интерферометрия когерентного сканирования) (ISO 25178-604:2013) (Одобрено AENOR в январе 2015 г.)