KS C 6520-2021
Компоненты и материалы полупроводникового производства. Измерение характеристик износа с помощью плазмы.

Стандартный №

KS C 6520-2021

Дата публикации

2021

Разместил

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Последняя версия

KS C 6520-2021

KS C 6520-2021 История

• 2021 KS C 6520-2021 Компоненты и материалы полупроводникового производства. Измерение характеристик износа с помощью плазмы.
• 2019 KS C 6520-2019 Компоненты и материалы полупроводникового производства. Измерение характеристик износа с помощью плазмы.
• 2008 KS C 6520-2008 Компоненты и материалы полупроводникового производства. Измерение характеристик износа с помощью плазмы.