В этом документе указаны технические требования, методы испытаний, правила проверки, маркировка, маркировка, упаковка, транспортировка, хранение и требования безопасности для 15% газовой смеси ксенон/водород для интегральных схем. Этот документ распространяется на 15% газовую смесь ксенон/водород для интегральных схем (далее именуемую 15% ксенон/водород).Газовые смеси ксенон/водород с другими соотношениями компонентов могут быть реализованы в качестве ссылки.
T/CHBAS 35-2023 История
2023T/CHBAS 35-2023 Газовая смесь для интегральных схем 15% ксенон/водород