В этом документе определен метод испытаний для измерения спектральных характеристик однослойных оптических тонких пленок методом спектрометрии и инвертирования оптических констант пленочного слоя. Этот документ распространяется на диэлектрические оптические пленки и подложки размером от 50 до 5000 нм. Пленки представляют собой такие соединения, как оксиды, фториды и сульфиды. Подложки представляют собой различные прозрачные для видимого света оптические стекла и прозрачные для видимого света изотропные кристаллы.
T/CSTM 00313-2021 История
2021T/CSTM 00313-2021 Метод тестирования оптических констант оптических тонких пленок на основе спектрофотометрического метода