T/SZMES 3-2021
Определение напряжения пленки — метод кривизны подложки. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- T/SZMES 3-2021
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2021
- Разместил
- Group Standards of the People's Republic of China
- Последняя версия
- T/SZMES 3-2021
- сфера применения
- В этом документе указаны термины и определения для определения напряжения пленки на основе метода изгиба подложки, включая: подложку, пленку, образец, толщину, покрытие, технологию физического осаждения из паровой фазы и радиус кривизны. Принцип измерения: Измерьте радиус кривизны подложки до и после одностороннего нанесения покрытия, начальный радиус кривизны подложки и радиус кривизны подложки (поверхности с покрытием) и рассчитайте напряжение пленки по формуле Стоуни.
T/SZMES 3-2021 История
- 2021 T/SZMES 3-2021 Определение напряжения пленки — метод кривизны подложки.
