KS D ISO 16413-2021 Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.
2021KS D ISO 16413-2021 Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.