T/CASAS 027-2023 Двумерная подвижность электронного газа эпитаксиальных пластин RF GaN HEMT — бесконтактный метод измерения Холла (Англоязычная версия)
/ CASAS027-2023 «Метод бесконтактного измерения Холла для двумерной подвижности электронного газа подвижности радиочастотных эпитаксиальных пластин GaNHEMT» описывает принципы тестирования, факторы помех и процедуры испытаний бесконтактного метода Холла двумерных измерений. подвижность электронного газа радиочастотных эпитаксиальных пластин GaNHEMT и протоколы испытаний. Он подходит для измерения двумерной подвижности электронного газа эпитаксиальных пластин GaNHEMT на полуизолирующих подложках. Диапазон измерения подвижности составляет 100〖см〗^2?(В?с)～20000〖см〗^2?(В? с) . Метод испытаний также применим для двумерного измерения подвижности электронного газа эпитаксиальных пластин с аналогичной структурой в других материальных системах (таких как структуры GaAs, InPHEMT). Проводимость материала подложки должна быть полуизолирующей.
T/CASAS 027-2023 История
2023T/CASAS 027-2023 Двумерная подвижность электронного газа эпитаксиальных пластин RF GaN HEMT — бесконтактный метод измерения Холла