Этот стандарт определяет определения терминов, технические требования и спецификации процесса химической очистки для спецификаций процесса химической очистки деталей полупроводникового оборудования. Настоящий стандарт распространяется на процесс химической очистки деталей полупроводникового оборудования.
T/QGCML 744-2023 История
2023T/QGCML 744-2023 Спецификация процесса химической очистки деталей полупроводникового оборудования