T/ICMTIA SM0027-2022 Монокристаллическая полированная кремниевая пластина p-типа диаметром 300 мм для передовых технологий памяти (Англоязычная версия)
В настоящем документе установлены технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировка, упаковка, транспортирование, хранение и сертификаты качества на кремниевые полированные пластины диаметром 300 мм, р-типа и ориентации кристаллов {100}. Этот документ применим к передовым технологиям хранения данных: 300-мм полированные кремниевые пластины p-типа для DRAM, 3D NAND и NOR.
T/ICMTIA SM0027-2022 История
2022T/ICMTIA SM0027-2022 Монокристаллическая полированная кремниевая пластина p-типа диаметром 300 мм для передовых технологий памяти