В настоящем документе указаны термины и определения, состав и принципы, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировка, упаковка, транспортирование и хранение устройства онлайн-очистки вакуумных покрытий. Настоящий документ распространяется на проектирование, производство и проверку устройств онлайн-очистки с вакуумным покрытием.
T/QGCML 1178-2023 История
2023T/QGCML 1178-2023 Устройство для онлайн-очистки вакуумного покрытия