JIS H 0611:1994
Методы измерения толщины, изменения толщины и изгиба кремниевых пластин.

Стандартный №

JIS H 0611:1994

Дата публикации

1994

Разместил

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Последняя версия

JIS H 0611:1994

сфера применения

Настоящий стандарт определяет методы измерения толщины, неравномерности толщины и Pau пластин монокристалла кремния (далее - пластины).

JIS H 0611:1994 История

• 1994 JIS H 0611:1994 Методы измерения толщины, изменения толщины и изгиба кремниевых пластин.