DIN EN 62047-11:2014-04
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельных материалов для микроэлектромеханических систем (IEC 62047-11:2013); Немецкая версия EN 62047-11:2013
- Стандартный №
- DIN EN 62047-11:2014-04
- Дата публикации
- 2014
- Разместил
- German Institute for Standardization
- Последняя версия
- DIN EN 62047-11:2014-04
DIN EN 62047-11:2014-04 История
- 2014 DIN EN 62047-11:2014-04 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельных материалов для микроэлектромеханических систем (IEC 62047-11:2013); Немецкая версия EN 62047-11:2013
- 2014 DIN EN 62047-11:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельных материалов для микроэлектромеханических систем (IEC 62047-11:2013); Немецкая версия EN 62047-11:2013
- 0000 DIN IEC 62047-11:2010
