T/CNIA 0120-2021 Определение микроэлементов-примесей в азотной кислоте высокой чистоты для электронной промышленности методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой (Англоязычная версия)
Настоящий документ регламентирует определение содержания примесных элементов (алюминия, сурьмы, мышьяка, бария, бора, кадмия, кальция, хрома, меди, железа, свинца, лития, магния, марганца и др.) в азотной кислоте высокой чистоты, применяемой в производстве азотной кислоты. электронная промышленность методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой (никель, калий, натрий, олово, титан, ванадий, цинк). Этот документ применим к определению микроэлементов-примесей в азотной кислоте высокой чистоты, используемой в электронной промышленности.Диапазон определения каждого элемента составляет 0,001 мкг/кг ~ 10 000 мкг/кг. Стандартный метод рабочей кривой подходит для содержания примесных элементов >0,100 мкг/кг~10,000 мкг/кг, стандартный метод добавления подходит для содержания примесных элементов ≤0,100 мкг/кг~0,001 мкг/кг.
T/CNIA 0120-2021 История
2021T/CNIA 0120-2021 Определение микроэлементов-примесей в азотной кислоте высокой чистоты для электронной промышленности методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой