T/IAWBS 016-2022 Метод рентгеновского испытания кривой качания двойного кристалла на полувысоте для одиночной пластины карбида кремния (Англоязычная версия)
Основываясь на характеристиках материала монокристалла карбида кремния и в сочетании с текущим уровнем исследований отечественной технологии контроля качества кристаллов карбида кремния, в этом документе оговариваются принцип измерения, гарантия точности измерения, этапы измерения и т. д. качания монокристалла карбида кремния. изгиб. Основная структура и содержание настоящего документа следующие: Тематическая глава настоящего документа разделена на 9 глав.Основное содержание включает: область применения, нормативные справочные документы, термины и определения, принципы испытаний, испытательные приборы, факторы помех, испытательную среду. , образцы для испытаний, процедура испытаний, прецизионность, протокол испытаний и приложения.
T/IAWBS 016-2022 История
2022T/IAWBS 016-2022 Метод рентгеновского испытания кривой качания двойного кристалла на полувысоте для одиночной пластины карбида кремния