Настоящий стандарт определяет классификацию, требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортирование, хранение, сертификат качества и заказное (или договорное) содержание керамических колец из нитрида кремния для производства поликремния. Настоящий стандарт распространяется на керамические кольца из нитрида кремния для производства поликремния (далее - керамические кольца).
T/CNIA 0014-2019 История
2019T/CNIA 0014-2019 Фарфоровые кольца для производства поликремния.