GB/T 38976-2020 (Англоязычная версия) Метод определения концентрации кислорода в кремниевых материалах. Метод инфракрасного обнаружения синтеза инертного газа.

сфера применения: Этот стандарт определяет метод тестирования содержания кислорода в кремниевых материалах с использованием термоядерной сварки в инертном газе и инфракрасной технологии. Этот стандарт подходит для тестирования содержания кислорода в монокристаллическом и поликристаллическом кремнии кремния с различными типами проводимости и различными диапазонами удельного сопротивления.Диапазон испытаний составляет 2,5×1 510 см-3 (0,05ppma) ~ 2,5×1018 см-3 (50ppma). Примечание. Содержание кислорода в кремниевых материалах измеряется в атомах на кубический сантиметр.

GB/T 38976-2020 Ссылочный документ

GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 1557 Метод испытаний для определения содержания межузельного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения

2020 GB/T 38976-2020 Метод определения концентрации кислорода в кремниевых материалах. Метод инфракрасного обнаружения синтеза инертного газа.