International Organization for Standardization (ISO)
Последняя версия
ISO 9220:2022
сфера применения
В этом документе указан разрушающий метод измерения локальной толщины металлических и других неорганических покрытий путем исследования поперечных сечений с помощью сканирующего электронного микроскопа (СЭМ). Метод применим для толщин до нескольких миллиметров, но для покрытий такой толщины обычно практичнее использовать световой микроскоп (см. ISO 1463). Нижний предел толщины зависит от достигнутой неопределенности измерения (см. раздел 10). П р и м е ч а н и е — Этот метод также можно использовать для органических слоев, если они не повреждены ни при подготовке поперечного сечения, ни при воздействии электронного луча во время визуализации.