В настоящем документе указаны обозначение и категория, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировка, упаковка, транспортирование, хранение, сопроводительная документация и форма заказа поликремния электронного качества для интегральных схем. Настоящий документ распространяется на поликремний электронного качества для интегральных схем (далее именуемый «полисремний»), изготовленный из хлорсиланов и силанов.