NF EN 62047-11:2014
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения автономных материалов для микроэлектромеханических систем.

Стандартный №

NF EN 62047-11:2014

Дата публикации

2014

Разместил

Association Francaise de Normalisation

Последняя версия

NF EN 62047-11:2014

NF EN 62047-11:2014 История

• 2014 NF EN 62047-11:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения автономных материалов для микроэлектромеханических систем.