KS I ISO 14644-15-2019 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 15. Оценка пригодности к использованию оборудования и материалов по концентрации переносимых по воздуху химических веществ.
2019KS I ISO 14644-15-2019 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 15. Оценка пригодности к использованию оборудования и материалов по концентрации переносимых по воздуху химических веществ.