В этом документе указаны термины и определения, технические требования, планы, чертежи, рабочие параметры, инструкции по применению, требования к проверке, маркировке, упаковке, транспортировке и хранению устройств бесконтактного переноса кремниевых пластин. Этот документ применим к техническим характеристикам устройства бесконтактного переноса кремниевых пластин.