ASTM F614-80(1991)e1
Метод испытания на искажение оптических линз, используемых при изготовлении фотомасок

Стандартный №

ASTM F614-80(1991)e1

Дата публикации

1991

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM F614-80(1991)e1

ASTM F614-80(1991)e1 История

• 1991 ASTM F614-80(1991)e1 Метод испытания на искажение оптических линз, используемых при изготовлении фотомасок