IEC 62047-29:2017 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 29. Метод испытания на электромеханическую релаксацию отдельно стоящих проводящих тонких пленок при комнатной температуре.

сфера применения: В этой части IEC 62047 определен метод релаксационных испытаний для измерения электромеханических свойств отдельно стоящих проводящих тонких пленок для микроэлектромеханических систем (МЭМС) при контролируемой деформации и комнатной температуре. Отдельно стоящие тонкие пленки из проводящих материалов широко используются в МЭМС, оптоэлектронике и гибкой/носимой электронике. Отдельно стоящие тонкие пленки в изделиях испытывают внешние и внутренние напряжения, которые могут ослабляться даже при комнатной температуре в период эксплуатации, и это расслабление приводит к зависящим от времени изменениям электрических характеристик изделий. Этот метод испытаний действителен для изотропных@ однородных@ и линейно-вязкоупругих материалов.

IEC 62047-29:2017 История

2017 IEC 62047-29:2017 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 29. Метод испытания на электромеханическую релаксацию отдельно стоящих проводящих тонких пленок при комнатной температуре.