T/CASAS 032-2023 Метод определения содержания металлических элементов на поверхности пластин карбида кремния — масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой. (Англоязычная версия)
В этом документе описан метод определения содержания металлических элементов на поверхности пластин карбида кремния методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой. Настоящий документ распространяется на следы металлов на поверхности монокристаллических полированных пластин карбида кремния и эпитаксиальных пластин карбида кремния: натрия, алюминия, калия, кальция, скандия, титана, ванадия, хрома, марганца, железа, кобальта, никеля, меди, цинка, серебро, вольфрам. Определение содержания таких элементов, как золото, ртуть и т. д., диапазон измерения 108см-2 ~ 1012см-2. Этот документ применим для определения содержания микроэлементов на поверхности первичных пластин карбида кремния размером 100 мм (4 дюйма) ~ 200 мм (8 дюймов), пластин из отожженного карбида кремния и других пластин карбида кремния без рисунка. Примечание. Содержание металлических элементов на поверхности пластины карбида кремния измеряется в атомах на квадратный сантиметр.
T/CASAS 032-2023 История
2023T/CASAS 032-2023 Метод определения содержания металлических элементов на поверхности пластин карбида кремния — масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой.