Fujian Provincial Standard of the People's Republic of China
Последняя версия
DB35/T 1146-2011
сфера применения
Настоящий стандарт определяет термины и определения, принципы, реагенты и материалы, приборы и оборудование, требования к образцам, требования к образцам, этапы анализа, расчеты результатов и допустимые отклонения, связанные с определением содержания примесных элементов в кремниевых материалах методом масс-спектрометрии тлеющего разряда ( ГДМС). Настоящий стандарт распространяется на определение примесных элементов Li, Be, B, Na, Mg, A1, P, K, Th, U и других элементов в кремниевых материалах чистотой не выше 99,99999%.
DB35/T 1146-2011 История
2011DB35/T 1146-2011 Определение содержания примесных элементов в кремниевых материалах методом масс-спектрометрии в тлеющем разряде