В этом документе указаны подготовка моделей, состав и основные параметры, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировка, упаковка, транспортировка и хранение оборудования для нанесения порошковых покрытий атомно-слоевого покрытия.
T/CASME 134-2022 История
2022T/CASME 134-2022 Реактор атомно-слоевого осаждения для покрытия поверхности частиц