ISO 14644-9:2022
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Оценка чистоты поверхности по концентрации частиц

Стандартный №

ISO 14644-9:2022

Дата публикации

2022

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO 14644-9:2022

сфера применения

Этот документ устанавливает процедуру оценки уровня чистоты частиц на твердых поверхностях в чистых помещениях и связанных с ними приложениях с контролируемой средой. Рекомендации по методам испытаний и измерений, а также информация о характеристиках поверхностей приведены в Приложениях от A до D. Этот документ распространяется на все твердые поверхности в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах, таких как стены, потолки, полы, рабочие помещения, инструменты, оборудование и продукция. Процедура оценки чистоты поверхности по концентрации частиц (SCP) ограничивается частицами размером от 0,05 до 500 мкм. В настоящем документе не рассматриваются следующие вопросы: 　——требования к чистоте и пригодности поверхностей для конкретных процессов; 　——процедуры очистки поверхностей; 　——характеристики материала; 　——ссылки на интерактивные силы связи или процессы генерации, которые обычно зависят от времени и процесса; 　——выбор и использование статистических методов оценки и тестирования; 　——другие характеристики частиц, такие как электростатический заряд, ионные заряды и микробиологическое состояние.

ISO 14644-9:2022 История

• 2022 ISO 14644-9:2022 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Оценка чистоты поверхности по концентрации частиц
• 2012 ISO 14644-9:2012 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц