DIN EN 62047-22:2015-04 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 22. Метод электромеханического испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках (IEC 62047-22:2014).
2015DIN EN 62047-22:2015-04 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 22. Метод электромеханического испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках (IEC 62047-22:2014).
2015DIN EN 62047-22:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 22. Метод электромеханического испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках (IEC 62047-22:2014); Немецкая версия EN 62047-22:2014